松夏解析一下波紋補(bǔ)償器的抽氣技術(shù)，超高真空系統(tǒng)用波紋補(bǔ)償器的選擇是重要的。表明超高波紋補(bǔ)償器應(yīng)靠提供高的抽速并且減小由波紋補(bǔ)償器到真空室的返流來(lái)降低壓強(qiáng)。這里，返流被定義為由波紋補(bǔ)償器到系統(tǒng)的任一種氣體流或蒸氣流。對(duì)超高真空系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，減少來(lái)自波紋補(bǔ)償器的污染的目的是同其它任何真空系統(tǒng)一樣的，只是超高真空系統(tǒng)中極限壓強(qiáng)和所容許的污染程度更低罷了。

為了降低污染程度，必須嚴(yán)格遵守正確的抽氣步驟。變暖了的液氮冷阱只要在幾分忡內(nèi)就能將所冷凝的蒸氣返流到阱上方的清潔區(qū)域中去。雖然重新降溫會(huì)阻止進(jìn)一步污染，但事故中已擴(kuò)散到清潔區(qū)域內(nèi)的蒸氣是無(wú)法再除掉了。在高真空范圍內(nèi)是無(wú)關(guān)緊要的事故會(huì)破壞低壓強(qiáng)下所作的實(shí)驗(yàn)的真實(shí)性。 每種類(lèi)型的波紋補(bǔ)償器本身都具有它所特有的不能抽走而作為雜質(zhì)存在的氣體和蒸氣物質(zhì)。

一些波紋補(bǔ)償器和阱的聯(lián)合使用能在盡量減小返流的同時(shí)對(duì)所有的氣體都提供足移的抽速。擴(kuò)散波紋補(bǔ)償器常與鈦升華阱聯(lián)用，低溫波紋補(bǔ)償器和升華波紋補(bǔ)償器常與離子波紋補(bǔ)償器聯(lián)用，而渦輪分子波紋補(bǔ)償器常輔以升華器。一般來(lái)說(shuō)，沒(méi)有兩類(lèi)超高真空系統(tǒng)會(huì)采用相同的波紋補(bǔ)償器的組合方案。雖然可以買(mǎi)到商用抽氣系統(tǒng)，但對(duì)超高真空應(yīng)用來(lái)說(shuō)，通常是按其特殊要求來(lái)進(jìn)行波紋補(bǔ)償器的設(shè)計(jì)和選擇的。至今，在選擇超高波紋補(bǔ)償器時(shí)仍保留了靠?jī)?yōu)選解決的簡(jiǎn)單技藝。